應用介紹

碳化硅晶圓槽式清洗甩干一體機，主要結(jié)構包括：上料工位、酸洗槽、清水槽、堿洗槽、缺陷檢測工位、甩干機和下料工位。

課題

1、碎片率高

由于碳化硅晶圓較硅晶圓厚度薄、硬度強，因此在搬運及清洗過程中更加容易碎片。

2、需滿足行業(yè)標準（SECS/GEM通訊）

解決方案

1、軌跡曲線控制技術

客戶期望在保證高速節(jié)拍的前提下，降低碎片率。通過歐姆龍獨特的軌跡曲線控制技術，能夠自動計算補償量，以抑制速度變化時發(fā)生的偏差，精度高達±0.01mm。

確保了整個搬運及清洗過程中的運動精度，即可在無偏差的情況下完成一系列工藝操作，有效降低碎片率。

2、滿足行業(yè)標準（SECS/GEM通訊）

結(jié)合機器控制和上位通信，可在短時間內(nèi)以低成本輕松實現(xiàn)SECS/GEM通信。

■ 與上位主機直接通信

無需中轉(zhuǎn)計算機/專用通信單元/軟件

■ 有助于設備小型化

CPU單元可直連上位主機

■ 無需年度合約

降低運行成本

使用SECS/GEM配置，無需編程即可實現(xiàn)通信設定。

■ 無需地址設定

變量編程無需地址設定

■ 計算機與機器控制器之間無需編程

使用一臺CPU，無需在中轉(zhuǎn)計算機和機器控制器之間通信

■ 通過SECS/GEM配置縮短設計時間

系統(tǒng)配置

實現(xiàn)價值

1、生產(chǎn)節(jié)拍＜175秒

2、碎片率＜0.05%，完整率≥99.95%

3、滿足行業(yè)標準（SECS/GEM通訊）

3個“i”掀起制造革新